دو فرایند اصلی رسوب بخار وجود دارد: بخار فیزیکی (PVD) رسوب شیمیایی بخار (CVD) بخار فیزیکی (PVD) فیزیکی بخار رسوب (PVD) فرایندی است که شامل بخار شدن ماده پوشش، در خلاء ، انتقال بخار به بستر و تراکم بخار روی سطح بستر (قطعه کار) می شود. تبخیر مواد پوشش با یکی از روشهای زیر انجام […]
