ررسی و شناسایی به طور اساسی فاقد معنی هست مگر اینکه شرایط تشکیل قابل باز تولید باشد. این بدین معنی است که فرایند باید قابل باز تولید باشد و این عموما با استفاده از کنترل های فرایند و مشخصات تضمین شده است. در بسیاری موارد، از اندازه گیری های صحیح، جهت پایداری قابلیت باز تولید استفاده شده است.
برای مثال در حالت رسوب کردن یک فیلم فلزی، ممکن است:
1- اندازه گیری ضخامت برای اطمینان از اینکه مقدار درستی از مواد رسوب کرده اند و هم چنین شرایط رسوب کردن زمانی که از پارامترهای رسوب گذاری خاصی استفاده می کنیم تغییر نکرده است؛
2- اندازه گیری چسبندگی برای اطمینان از اینکه آماده سازی سطح مناسب بوده و اینکه سطح در طی فرایند دوباره آلوده نشده باشد؛
3- اندازه گیری مقاومت ویژه الکتریکی برای تضمین کاربرد مواد؛
4- پیر سازی محیطی برای اطمینان از پایداری چسبندگی و مقاومت ویژه الکتریکی در طی پردازش بعدی، ذخیره و سرویس؛
5- اندازه گیری چگالی حفره ها.
شناسایی و بررسی ممکن است به عنوان:
1-مطلق (absolute)
2-نسبی (relative)
3-کاربردی(functional)
4-رفتاری(behavioral)
5-پایداری(stability)
طبقه بندی شده باشد.
شناسایی مطلق به معنی بدست آوردن یک مقدار خاص مانند:
1-ترکیب عنصری خالص (درصد وزنی)؛
2-مقاومتی(سانتی متر یا اهم)؛
3-ضخامت (انگستروم یا میکرون)؛
4-چگالی (گرم بر سانتی متر مکعب).
به منظور بدست آوردن مقادیر دقیق نیاز است که از تکنیک های اندازه گیری دقیق استفاده گردد و همچنین مقادیر با استفاده از استانداردها برای پارامتر مورد نظر اندازه گیری می شوند. ارزیابی نسبی به معنی یک مقایسه برای مقادیر قابل پذیرش از قبیل: ارتفاع پیک اوژه (Auger)، شدت فلورنس اشعه X، رنگ، سختی نسبی و غیره است.
تکنیک های اندازه گیری استفاده شده اغلب دقیق هستند اما این دقت واجب نمی باشد. ارزیابی های نسبی عموما به آسانی بدست آمده اند و نسبتا کم هزینه تر از مقادیر واضح و دقیق هستند. توصیف کاربردی در ارتباط با استفاده نهایی از مواد شامل خواصی از قبیل چسبندگی، مقاومت الکتریکی، سختی، رفتار سایش، مشاهده بصری و غیره می باشد. خواص رفتاری مستقیما در ارتباط با خواص کاربردی نبوده اما یک فرایند کاربردی دارند. این خواص ممکن است در استفاده مهم باشند یا تغییرات ممکن را در خواص فیلم نشان بدهند. یک مثال در این رابطه جذب سطحی گازها یا آلودگی ها است. خواص پایداری مربوط به تغییرات صحیح در تولید و در طی فرایند بعدی، جابه‌جایی/ ذخیره کردن و سرویس است. اندازه گیری های پایداری معمولا به عنوان کاربردی از محیط انجام شده اند(دما، گونه های شیمیایی، خستگی). این محیط ها باید بطور احتیاط آمیزی تعریف و تعیین شوند. خواص ممکن است عمومی باشند مانند ضخامت فیلم یا ممکن است بسیار موضعی باشند مانند حضور حفره ها، کلوخه ها در فیلم، یا نواحی کوچک در تنش های بالای فیلم. خواص عمومی ممکن است در یک فضای سطح وسیع یکنواخت نباشند یا ممکن است از یک منطقه به منطقه دیگر از ثوابت رسوبی ثابت نباشند. اغلب تغییرات ممکن است بدلیل شرایط زیر لایه باشند، مانند پارامترهای رسوبی و غیره. این بدین معنی است که بعضی از احتیاط‌ها باید در انتخاب نمونه هایی که مشخص شده اند انجام گیرد و آمارهای نمونه گیری باید با توجه به امکان چنین تغییراتی انجام گیرد. مهم بودن خاصیت و همچنین نوع آمارهای استفاده شده اندازه گیری های صحیح را تعیین می کنند. برای مثال یک اندازه گیری می تواند باعث شکست یک رسانا بدلیل ایجاد جریان الکتریکی در آن گردد، اما چون شکست می تواند باعث از کار افتادن مدار گردد. برای ما بسیار مهم است که زمان اولین شکست را جهت محاسبات نسبی بدانیم.
برای اطلاعات بیشتر به این آدرس مراجعه کنید 
یا برای بحث و گفتگو و همچنین طرح سوال به اینجا بروید
